共焦点顕微鏡装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-021575
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323197
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】機械的走査機構を不要とし高速走査が可能で振動などの問題のない小型で実用的な共焦点顕微鏡を提供する。【構成】所定の平面上に配列された多数の発光素子を有する面発光型光源手段と多数の受光素子を有する2次元撮像手段とを用いる構成とし、多数の発光素子を順次発光走査するとともに、各発光素子に対応する共役な受光素子のみにて順次受光させる構成を有する。このような制御により実質的な走査が行われるため、機械的走査機構は全く必要なく、可動部のない共焦点走査型顕微鏡が可能である。そして、光源手段からの照明光束を集光する照明光学手段として、光源からの光束を収斂するためのフィールドレンズを設けることにより、画面の周辺部の照度の均一性を向上させることが可能であり、小型で実用的な構成とすることが可能である。

請求項（抜粋）：

所定の平面上に配列された多数の発光素子を有する面発光型光源手段と、該光源面からの光束を収斂するためのフィールドレンズを有し被検物体面上に照明光束を集光する照明光学手段と、該被検物体面からの光束を所定の像面上に集光する対物光学手段と、該対物光学手段の像面上に配置された多数の受光素子を有する2次元撮像手段と、前記面発光型光源手段の発光素子を時系列的に発光させると共に、該発光素子と互いに共役な前記2次元撮像手段上の受光素子を順次受光可能状態とする制御手段と、該2次元撮像手段からの出力信号に基づいて前記被検物体面の情報を得る信号処理手段とを有すること特徴とする共焦点顕微鏡装置。

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