角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 植木久一 , 伊藤孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-334336
公開番号（公開出願番号）：特開2005-098892
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】角速度の検出感度の劣化を抑える。【解決手段】駆動用固定電極6a〜6f、7a〜7fに入力される駆動信号Va〜Vdは、振動子4をX軸方向に定常振動するように駆動する。Z軸周りの角速度ωzが作用するとコリオリ力の作用により、振動子4はY軸方向に振動する。変位検出部22は振動子4のY軸方向の変位を通じて角速度ωzを検出する。振動子4がY軸方向に変位することにより、駆動用可動電極4a〜4fと駆動用固定電極6a〜6fとの間の静電容量と、駆動用可動電極4a〜4fと駆動用固定電極7a〜7fとの間の静電容量とがアンバランスすることよりY軸方向に発生する正味の静電力を消去乃至低減するように、振幅制御器3は、振動子4のY軸方向の変位量に応じて、駆動信号Vaと駆動信号Vbの間、及び駆動信号Vcと駆動信号Vdの間で信号の強さを配分する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、基端側を前記基板に固定され弾性を有する弾性支持部材と、前記弾性支持部材の先端側に固着されることにより前記基板の上方に前記基板から離間して支持される振動子と、前記振動子に設けられ、前記基板の主面に沿った第1所定軸の正方向に向いた第1電極面と前記第1所定軸の負方向に向いた第2電極面とを有する可動電極と、前記基板に固定され、前記第1所定軸に垂直な第2所定軸の方向の端部において対向しない部分を残して、前記第1電極面に対向する第1固定電極と、前記基板に固定され、前記第2所定軸の方向の端部において対向しない部分を残して、前記第2電極面に対向する第2固定電極と、前記振動子を前記第2所定軸に沿った方向に定常振動させるための駆動信号を前記第1固定電極及び前記第2固定電極に入力する駆動信号入力部と、前記第1所定軸及び前記第2所定軸の双方に垂直な第3所定軸の周りに作用する角速度により前記第1所定軸に沿った方向に前記振動子が変位する量である変位量を検出する変位検出部と、を備え、前記駆動信号入力部は、前記変位検出部が検出する前記変位量に基づいて、前記第1電極面と前記第1固定電極との間に作用する第1静電力と前記第2電極面と前記第2固定電極との間に作用する第2静電力との間の偏差を低減するように、前記第1固定電極と前記第2固定電極との間で、入力する前記駆動信号の強さを配分することを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (5件)：

2F105BB02 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

ヨーレートセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-252871 出願人：株式会社デンソー

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