特許

J-GLOBAL ID：200903019579142004

試料の離脱方法及び該方法に使用する試料保持装置

発明者： 露口 潤弥 ,  速水 利泰
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225381
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130825
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【構成】 試料50と試料保持部24との間に所定の圧力でガスを導入するとともに、試料保持部24への直流電圧の印加を停止し、試料50に蓄積された電荷を放出させて試料50を離脱させる試料の離脱方法。【効果】 吸着力の減少後、ガス圧により押し上げ力を広く均等に付与して試料50を離脱させることができ、また離脱の瞬間にガスをリークさせて押し上げ力を急激に減少させることができる。したがって試料50の損傷や位置ずれに伴う搬送トラブルの発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

試料保持部上に静電吸着させた試料を離脱させる試料の離脱方法において、前記試料と前記試料保持部との間に所定の圧力でガスを導入するとともに、前記試料保持部への直流電圧の印加を停止し、前記試料に蓄積された電荷を放出させて該試料を離脱させることを特徴とする試料の離脱方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-120932
  
• 特開平3-169041
  
• 特開平4-282851