特許
J-GLOBAL ID：200903019584309030
振動絶縁装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守谷 一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187675
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033827
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 酸化物超電体を用いて基台からの振動を絶縁する。【構成】 基台2の上面には複数個の磁化された円板状のバルク材3が固設され、容器11により包囲されるとともに、この容器の内部には液体窒素Lが収容されており、機器搭載台4の下側には複数個の円板状の永久磁石5およびその外側にはコイル6が固設され、永久磁石5およびコイル6とバルク材3とは基台2上の所定位置に機器搭載台4を配置した時に、それぞれが対向するように固設されている。また、機器搭載台4には振動センサ7が配設されており、このセンサからの出力信号は制御装置8内の制御回路に入力され、制御回路の出力信号によりドライブ回路の出力、即ち、コイル6の制御電流が制御される。この構成により、磁気浮上機構と振動抑制用のアクチュエータを一体化することができる。
請求項（抜粋）：
基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定盤との間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置において、前記基台または前記定盤のいずれか一方の対向面に複数個の酸化物超電導物質よりなるバルク材を固設し、他方の面の前記バルク材と対向する位置に永久磁石を中心としてその外側に配置されたコイルを固設するとともに、前記定盤に配設された振動センサの出力信号により前記コイルに制御電流を供給する制御装置と、前記バルク材を液体窒素温度以下に保持する冷却手段を備えたことを特徴とする振動絶縁装置。
IPC (3件)：
F16F 15/03
, F16F 15/02
, H01L 39/00 ZAA
