特許
J-GLOBAL ID：200903019590274982
電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-172728
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036985
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的はTVカメラ像の輝度や分解能の選択性を与えるのに適した電子顕微鏡を提供することにある。【構成】厚さの異なる複数の蛍光体を回転板14の円周上に配置し、加速電圧制御系21により加速電圧を切り替えたときコンピュ-タ21により加速電圧の切り替えに連動して複数の蛍光体を選択的に電子線の軸に切り替え、これによって加速電圧ごとに高輝度及び高分解能のTVカメラ像を得る。
請求項（抜粋）：
電子線を発生させる手段と、その発生した電子線が試料を透過するようにその電子線をその試料に向ける手段と、前記透過した電子線による前記試料の電子線像を形成する手段と、その電子線像を可視像に変換し、その変換された可視像を撮像してそのTVカメラ像を得るTVカメラ手段とを備え、このTVカメラ手段は複数の蛍光体と、これらの蛍光体によって選択的に前記電子線像を前記可視像に変換するように前記電子線像に対する前記複数の蛍光体の位置を切り替える手段とを含むことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22 501
, H01J 37/248
, H04N 7/18
