特許
J-GLOBAL ID：200903019595804297
基板搬送装置及び基板搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-014421
公開番号（公開出願番号）：特開平5-278813
出願日： 1993年02月01日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：
【要約】【目的】 基板の搬送時間を短縮するとともに、位置ずれのなく基板搬送を実行する。【構成】 レチクルステージ7の近傍位置に一時保管棚8を設ける。一時保管棚8には吸着保持部材9が複数個設けられており、複数のレチクルRを個別に吸着保持可能である。ロードアーム5とアンロードアーム6とはレチクルRを一時保管棚8とレチクルステージ7との間で搬送する。レチクルRはレチクルステージ7の基準位置に対してアライメントされた状態で保持されており、このアライメント状態を保ったまま、レチクルRは搬送される。
請求項（抜粋）：
基板を収納した基板ケースを保管する基板保管部と、前記基板保管部から基板ステージまで前記基板を搬送する搬送系とを有する基板搬送装置において、前記基板保管部から第1基板受渡し位置まで前記基板を搬送する第1搬送手段と;前記基板を所定状態で個別に真空により吸着保持する保持機構を備え、前記第1基板受渡し位置と前記基板ステージとの間に設けられた一時保管部と;前記第1受渡し位置から前記基板ステージまで前記基板を搬送可能であるとともに、前記一時保管部と前記基板ステージとの間で前記基板を搬送可能な第2搬送手段とを有することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (5件)：
B65G 1/04
, B65G 1/02
, B65G 49/07
, H01L 21/027
, H01L 21/68
