特許

J-GLOBAL ID：200903019596378925

超小型減圧流量制御装置

発明者： 新倉 順二 ,  岡田 行広 ,  ▲渋▼谷 聡
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-202194
公開番号（公開出願番号）：特開2006-024028
出願日： 2004年07月08日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：

【課題】 極めて小型の構成によって、加圧された流体を微小定流量の流量に制御、供給することを可能にする超小型減圧流量制御装置を提供する。【解決手段】 超小型減圧流量制御装置100は、流体を流して流体の圧力を低減させる第1微細流体流路1と、第1微細流体流路1に連結され、第1微細流体流路1からの流体を流すためのN本(Nは2以上の整数)の第2微細流体流路3と、各第2微細流体流路3にそれぞれ設けられたマイクロバルブ2と、各第2微細流体流路3からの流体を合流させて外部へ排出するための流体集積流路4とを備える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

流体を流して前記流体の圧力を低減させる第1微細流体流路と、 前記第1微細流体流路に連結され、前記第1微細流体流路からの前記流体を流すためのN本(Nは2以上の整数)の第2微細流体流路と、 各第2微細流体流路にそれぞれ設けられたマイクロバルブと、 各第2微細流体流路からの前記流体を合流させて外部へ排出するための流体集積流路とを備えることを特徴とする超小型減圧流量制御装置。

IPC (2件)：

G05D 7/06 ,  H01M 8/04

FI (2件)：

G05D7/06 B ,  H01M8/04 N

Fターム (16件)：

5H027MM02 ,  5H307AA15 ,  5H307AA20 ,  5H307BB09 ,  5H307CC12 ,  5H307DD01 ,  5H307DD02 ,  5H307DD07 ,  5H307DD08 ,  5H307DD11 ,  5H307EE04 ,  5H307EE08 ,  5H307EE19 ,  5H307EE20 ,  5H307ES02 ,  5H307ES05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭59-89895号公報
  
• 特開昭60-171501号公報