特許
J-GLOBAL ID:200903019600851274
多数の研磨粒子等級を含む研磨スラリー及び研磨物品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-511612
公開番号(公開出願番号):特表2001-516652
出願日: 1998年09月16日
公開日(公表日): 2001年10月02日
要約:
【要約】 研磨スラリー、同研磨スラリーから作製された研磨物品、及び同研磨物品の製造方法が開示される。研磨スラリー及びそれらから作製された研磨物品は、研磨粒子の少なくとも2つの等級(すなわち、第1のより大きい等級、及び第2のより小さい等級)を含む。前記研磨剤等級の中央粒度比は約2であり、前記中央粒度比は、より大きい等級の研磨粒子の中央粒度を何れかのより小さい等級の研磨粒子の中央粒度で割った値に等しい。
請求項(抜粋):
前面及び裏面を有する裏材料と、該裏材料の該前面に接着された研磨塗膜と、を含む研磨物品であって、該研磨塗膜が、結合剤と、 第1の中央粒度を有する第1の等級の研磨粒子、及び、 第2の中央粒度を有する第2の等級の研磨粒子、を少なくとも含み、その中央粒度比が約2以上であり、モース硬度が7以上である、該結合剤中に分散された複数の研磨粒子と、を含む研磨物品。
IPC (4件):
B24D 11/00
, B24D 3/00 330
, B24D 3/28
, B24D 3/34
FI (5件):
B24D 11/00 B
, B24D 11/00 Q
, B24D 3/00 330 G
, B24D 3/28
, B24D 3/34 Z
Fターム (19件):
3C063AA02
, 3C063AA03
, 3C063AB07
, 3C063BA02
, 3C063BA24
, 3C063BB02
, 3C063BB03
, 3C063BB04
, 3C063BB07
, 3C063BB20
, 3C063BC03
, 3C063BG08
, 3C063BG18
, 3C063BG22
, 3C063CC17
, 3C063CC24
, 3C063FF05
, 3C063FF08
, 3C063FF23
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