特許
J-GLOBAL ID：200903019605296333
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273015
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123746
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 狭いピッチで容易に形成され、かつ電極に確実に接触可能な複数のプローブニードルを備えたプローブカードを提供する。【構成】 弾性変形可能なカード52に切込み56を入れて個別に弾性変形可能な複数のプローブニードル54を面一に形成し、この複数のプローブニードル54のそれぞれの先端部に半導体素子の電極に接触可能な複数の接触子54Aを設けた。また、複数の接触子54Aのそれぞれに端子58を電気的に接続して、この端子58を弾性変形可能なカード52に形成して半導体素子検査装置に電気的に接続可能にした。従って、弾性変形可能なカード52に切込み56を入れるだけで個別に弾性変形可能な複数のプローブニードル54を面一に正確に位置決めした状態で形成することができる。
請求項（抜粋）：
半導体素子検査装置に取り付けられた状態で、ウエハに形成された半導体素子の電極にプローブニードルを当接して電極特性を検査するプローブカードにおいて、切込みが入れられて個別に弾性変形可能な複数のプローブニードルが面一に形成された弾性変形可能なカードと、前記複数のプローブニードルのそれぞれの先端部に設けられ、前記半導体素子の電極に接触可能な複数の接触子と、該複数の接触子のそれぞれに電気的に接続されると共に前記カードに形成されて前記半導体素子検査装置に電気的に接続可能な複数の端子と、を備えたことを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 19/00
, H01L 21/66
