特許
J-GLOBAL ID：200903019616042910
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1997004914
公開番号（公開出願番号）：WO1999-033603
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月08日
要約：
【要約】レーザ発振器から出力されたレーザ光の方向を変化させる偏向装置と、前記偏向装置をより入射するレーザ光を屈折させて加工対象ワーク上に結像させる集光レンズとを有するレーザ加工装置において、複数枚のレンズからなる集光レンズレンズのレンズ間の相対位置を集光レンズ温度によって変化させるレンズ位置調整手段を組み込み、レンズ位置調整手段によってレンズの屈折率の温度変化を打ち消すように複数枚のレンズ間の相対位置を集光レンズ温度によって変化させる。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器から出力されたレーザ光の方向を変化させる偏向装置と、前記偏向装置をより入射するレーザ光を屈折させて加工対象ワーク上に結像させる集光レンズとを有するレーザ加工装置において、 前記集光レンズは、複数枚のレンズからなり、レンズの屈折率の温度変化を打ち消すように複数枚のレンズ間の相対位置を集光レンズ温度によって変化させるレンズ位置調整手段を有し、前記集光レンズの集光特性が当該集光レンズの温度変化に依存しないこと特徴とするレーザ加工装置。
IPC (1件)：
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