特許
J-GLOBAL ID：200903019617747934
集積回路構造決定装置と方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-261492
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152198
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】 多層集積回路の構造の全体的情報を提供し且つ操作時間が省力化された集積回路構造決定装置と方法とを提供する。 【構成】 電子ビーム銃10からの電子ビームが、収束コイル20、対物コイル22、偏向コイル24により集積回路10の表面を走査され、走査表面からの後方錯乱電子は第一検出器30により検出され、走査表面からの二次電子は第二検出器44により検出される。イメージ処理回路42によりこれらの検出情報から表面の表現が導出される。さらに、前記表面上にショットキーバリア接合部を形成するメタライゼーション層が設けられ第三検出器として作用し、該接合部に誘発される電流が感知される。
請求項（抜粋）：
集積回路(10)の構造を決定する装置であって、電子ビームソース(16)と、電子ビーム(26)を集束し、前記集積回路(10)の表面上に電子ビームを制御して走査するための手段(20、22、24)と、前記集積回路(10)の走査された表面からの後方散乱された電子(28)に応答する第一検出器(30)と、走査された表面により放射された二次電子に応答する第二検出器(44)と、前記第一検出器(30)或は前記第二検出器(44)からの信号から走査された表面の表現を導出するように動作しうる処理手段とを備える装置において、本体(10)の表面上に被着されたメタライゼーション層を備え、かつ前記本体の隣接部分よりも高いドーパント濃度を有する前記本体の少なくとも一領域でショットキーバリア接合部を形成する第三検出器(92)と、集束された電子ビーム(26)が前記メタライゼーション層を走査するにつれて前記ショットキーバリア接合部から発生する電流を感知する電流感知手段とを備えることを特徴とする集積回路構造決定装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01R 31/26
, H01J 37/28
, H01L 21/66
