特許

J-GLOBAL ID：200903019619550224

磁気キャンセル装置、磁気キャンセル方法及び荷電粒子線露光装置

発明者： 竹越 秀和
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370876
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173952
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】 外乱磁場の遮断をより効率的に行える磁気キャンセル装置及び磁気キャンセル方法を提供する。【解決手段】 鏡筒本体50の周囲には、主アクティブ磁気キャンセラー31が配置されており、このキャンセラー31内の鏡筒本体50近傍には磁気センサー40が付設されている。一方、鏡筒本体50の周辺に配置されたポンプ45(周期的磁気ノイズ発生源)の周囲には、副アクティブ磁気キャンセラー33が配置されている。主アクティブ磁気キャンセラー31を動かさないでポンプ45を起動し、この状態で磁気センサー40の検知する磁気信号が最小となるように副アクティブ磁気キャンセラー33の出力を調整し、その後、主アクティブ磁気キャンセラー31を動かして磁気センサー40の検出するランダムノイズを打ち消す。

請求項（抜粋）：

磁気遮断の対象であるターゲット装置に付設された主アクティブ磁気キャンセラーと、前記ターゲット装置の周辺に存在する周期的磁気ノイズ発生源に付設された副アクティブ磁気キャンセラーと、を備えることを特徴とする磁気キャンセル装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/16 ,  H05K 9/00

FI (4件)：

G03F 7/20 504 ,  H01J 37/16 ,  H05K 9/00 H ,  H01L 21/30 541 G

Fターム (8件)：

2H097CA16 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5E321AA21 ,  5E321AA33 ,  5E321AA50 ,  5E321GG07 ,  5F056EA12