特許

J-GLOBAL ID：200903019623061785

高純度シリカガラス質発泡体の製造方法

発明者： 佐藤 龍弘 ,  藤ノ木 朗 ,  横田 透 ,  木村 博至
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-139668
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330376
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【構成】比重が1.7〜2.18g/cm3、気泡直径が10〜200μm、気泡総体積が1〜30%の不透明石英ガラス体を減圧下、1,400°C〜2,000°Cの温度範囲で加熱発泡することを特徴とする高純度シリカガラス質発泡体の製造方法。【効果】本発明は、不透明石英ガラスを単に減圧下で加熱発泡することにより実質的に独立気泡からなる発泡体を製造でき、しかも得られた発泡体は軽量で、断熱性、高温における寸法安定性、耐久性に優れ、半導体工業で要求される要件を充分満たし半導体処理用治具素材として有用は発泡体である。

請求項（抜粋）：

比重が1.7〜2.18g/cm3、気泡直径が10〜200μm、気泡総体積が1〜30%の不透明石英ガラス体を減圧下、1,400°C〜2,000°Cの温度範囲で加熱発泡することを特徴とする高純度シリカガラス質発泡体の製造方法。

IPC (3件)：

C03C 11/00 ,  C03B 19/08 ,  C03B 20/00

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 不透明石英ガラスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-246156   出願人：信越石英株式会社
• 不透明石英ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229638   出願人：信越石英株式会社
• 特開平1-308846