特許
J-GLOBAL ID:200903019625388870

放射線分析装置と放射線分析方法、及びそれを用いたX線計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松下 義治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-220980
公開番号(公開出願番号):特開2007-033392
出願日: 2005年07月29日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
【課題】バイアス電流や冷却温度などの測定環境変動により特性変化するTESで、計測中のエネルギー感度のズレを補償するために、頻繁に感度校正することが難しかった。【解決手段】パルス信号印加手段7を備え、パルス信号印加手段からの電流パルスをバイアス電流供給手段52の出力に加算することによりTES1にパルス信号を加える。さらに、波高分析器4から出力された波高スペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存し、保存された波高スペクトルのパルス信号に対応するピーク位置と実際のエネルギーの値が一致するように感度係数を導出し、それを用いて感度校正してエネルギースペクトルを与える演算処理装置18を備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
放射線エネルギーを温度変化として検出する放射線検出素子と、 前記放射線検出素子を駆動する電力供給手段と、 前記放射線検出素子からの信号を電気信号に変換し増幅する信号読み出し手段と、 前記増幅された電気信号の波形をパルス信号に整形処理する波形整形器と、 前記パルス信号を波高スペクトルに対応して選別する波高分析器とからなる放射線分析装置において、 前記放射線検出素子に電流パルスを印加するパルス信号印加手段と、 前記波高分析器から出力された波高スペクトルと前記電流パルスに対応するエネルギースペクトルとから感度補正を行う演算処理装置とを備えることを特徴とする放射線分析装置。
IPC (3件):
G01N 23/225 ,  G01T 1/26 ,  G01T 1/36
FI (3件):
G01N23/225 ,  G01T1/26 ,  G01T1/36 C
Fターム (18件):
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA10 ,  2G001EA03 ,  2G001EA20 ,  2G001FA08 ,  2G001GA11 ,  2G001JA06 ,  2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088FF15 ,  2G088GG22 ,  2G088KK01 ,  2G088LL05 ,  2G088LL15 ,  2G088LL26
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 米国特許第5641961号公報
審査官引用 (1件)
引用文献:
審査官引用 (5件)
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