特許
J-GLOBAL ID:200903019631289450
デジタルホログラフィを利用した変位分布計測方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
杉村 興作
, 徳永 博
, 岩佐 義幸
, 藤谷 史朗
, 来間 清志
, 冨田 和幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-256539
公開番号(公開出願番号):特開2007-071584
出願日: 2005年09月05日
公開日(公表日): 2007年03月22日
要約:
【課題】物体の面内・面外変位を同時に計測することができる、位相シフトデジタルホログラフィを用いた変位計測方法及び装置を提供することを目的とする。【解決手段】2光束を異なった方向から同じ入射角度で順番に変位前後の物体に投影し、参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながらCCDカメラで撮影し、それぞれの入射光で変位によって生じた位相分布を求め、その位相分布の差を求めることで面内変位を表す位相分布を得て、和を求めることで面外変位を表す位相分布を得る。【選択図】図4
請求項(抜粋):
物体の像を位相シフトデジタルホログラフィによりデジタルホログラムとして記録し、記録したデジタルホログラムから物体の変位分布ないし変形分布を位相情報として計測する変位分布計測方法において、
第1の状態において、参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながら、所定の入射角で第1の方向から光を照射した物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞をデジタルデータとして記録して第1の状態における第1デジタルホログラムを作成する工程と、
前記第1の状態において、参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながら、前記第1の方向とは異なる第2の方向から同じ入射角で光を照射した物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞をデジタルデータとして記録して第1の状態における第2デジタルホログラムを作成する工程と、
前記第1の状態から変形又は変位した第2の状態において、参照光の位相を所定量だけシフトさせながら前記第1の方向から前記所定の入射角で光を照射した前記物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞をデジタルデータとして記録して第2の状態における第1デジタルホログラムを作成する工程と、
前記第2の状態において、参照光の位相を所定量だけシフトさせながら前記第2の方向から前記所定の入射角で光を照射した前記物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞をデジタルデータとして記録して第2の状態における第2デジタルホログラムを作成する工程と、
前記第1の状態における第1デジタルホログラムと、前記第2の状態における第1デジタルホログラムから、第1の位相分布を得る工程と、
前記第1の状態における第2デジタルホログラムと、前記第2の状態における第2デジタルホログラムから、第2の位相分布を得る工程と、
前記第1及び第2位相分布の差を求め、面内変位を表す位相分布を得る工程と、
前記第2及び第2位相分布の和を求め、面外変位を表す位相分布を得る工程とを具えることを特徴とする変位分布計測方法。
IPC (4件):
G01B 9/021
, G01B 11/00
, G03H 1/04
, G03H 1/16
FI (4件):
G01B9/021
, G01B11/00 G
, G03H1/04
, G03H1/16
Fターム (48件):
2F064AA01
, 2F064AA11
, 2F064CC10
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG41
, 2F064GG44
, 2F064GG53
, 2F064GG61
, 2F064HH08
, 2F064JJ15
, 2F064LL02
, 2F064LL07
, 2F064LL08
, 2F064LL11
, 2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065AA65
, 2F065BB05
, 2F065FF04
, 2F065FF51
, 2F065GG05
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL24
, 2F065LL30
, 2F065LL51
, 2F065MM16
, 2F065NN05
, 2F065QQ03
, 2F065QQ13
, 2F065QQ16
, 2F065QQ24
, 2F065QQ27
, 2F065RR09
, 2F065UU05
, 2F065UU07
, 2K008AA06
, 2K008AA17
, 2K008BB04
, 2K008HH06
, 2K008HH18
, 2K008HH25
引用特許:
引用文献:
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