特許
J-GLOBAL ID：200903019638278241
精製エアーの製造装置及び製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-125493
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314645
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 微量の活性気体や微細な紛塵等を完全に除去することができる精製エアーの製造装置及び製造方法を提供する。【構成】 超純水13を吸収槽8内に所定水位を保ちながら溜め、微粒子を除去した1次精製エアー10を複数のノズル11から吸収槽8へ供給し、この吸収槽8内において、攪拌装置12により超純水13を攪拌しながら、1次精製エアー10を超純水13と接触させることにより、1次精製エアー10中に残留する紛塵や活性気体を除去する。
請求項（抜粋）：
精製エアーの製造装置において、微粒子を除去したエアーを超純水と接触させることにより該エアー中に残留する紛塵や活性気体を除去するための吸収槽が、超純水を攪拌するための攪拌装置と、この攪拌装置によって攪拌される超純水中に上記微粒子を除去したエアーを噴入するための複数のノズルと、を有することを特徴とする精製エアーの製造装置。
IPC (2件)：
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