特許

J-GLOBAL ID：200903019641633192

アルミニウム合金の窒化方法

発明者： 原 民夫 ,  庄山 裕章 ,  菱田 隆模
出願人/特許権者： 有限会社プラス
代理人 (1件)： 犬飼 新平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-020439
公開番号（公開出願番号）：特開2006-206959
出願日： 2005年01月27日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】 低温で速く窒化層を形成できるアルミニウム合金の窒化方法を提供する。【解決手段】 高密度,高解離度の窒素原子プラズマを発生させるための電子ビーム励起プラズマ源,プラズマを溜め窒化処理を行う処理槽,真空排気系装置,加熱装置,処理物バイアス電圧印加装置,原料ガス系装置からなる処理装置を使用し、電子ビームにより励起させた高密度,高解離度の窒素原子プラズマ浴中でアルミニウム合金を処理する。電子ビーム励起プラズマ源の運転条件が、加速電圧Vは50〜150ボルト,加速電流Aは4アンペア以上である。プラズマの原料ガスが窒素ガス、または窒素ガスと水素ガスの混合ガス,または窒素ガスとアルゴンガスの混合ガス、または窒素ガスと水素ガスとアルゴンガスのの混合ガスである。窒化処理温度が300〜550°Cである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電子ビームにより励起させた高密度,高解離度の窒素原子プラズマ浴中でアルミニウム合金を処理するアルミニウム合金の窒化方法。

IPC (1件)：

C23C 8/36

FI (1件)：

C23C8/36

Fターム (5件)：

4K028AB02 ,  4K028BA02 ,  4K028BA15 ,  4K028BA21 ,  4K028BA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭61-290629号公報