ピックアップ組立・検査装置などにおける検査対象物品等の位置調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-097586
公開番号（公開出願番号）：特開2002-157845
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ゴニオステージの回転中心とその上に設置された検査対象部品の回転中心とを容易に一致させることができる回転中心位置調整方法を提供する。【解決手段】ゴニオステージ150の回転中心とそれに設置されたピックアップ200の回転中心とを合致させるための位置調整方法において、ゴニオステージとピックアップを取り付けるための物品取付けベース110との間に水平2軸方向および垂直1軸方向に位置調整可能な3軸調整機構155を設けるとともに、光ディスク160を基準位置に固定し且つピックアップの対物レンズを基準位置に固定した状態で、ピックアップを動作させながらゴニオステージを用いてピックアップの角度を変化させつつ、ピックアップの出力信号から得られる位置情報を表示し、ピックアップの角度を変化させてもピックアップの中心位置が変化しなくなるように、前記位置情報に基づいて3軸調整機構による位置調整を行うようにした。

請求項（抜粋）：

ゴニオステージの回転中心と当該ゴニオステージに設置された検査対象物品の回転中心とを合致させるための位置調整方法において、前記ゴニオステージと前記検査対象物品を取り付けるための物品取付けベースとの間に当該物品取付けベースを水平2軸方向および垂直1軸方向に位置調整可能な3軸調整機構を設けるとともに、前記物品取付けベースに所定形状の観察対象部を有する回転中心調整用冶具を取り付け、前記ゴニオステージを用いて当該観察対象部の角度を変化させても当該観察対象部の中心位置が変化しなくなるように当該3軸調整機構による位置調整を行うようにしたことを特徴とする位置調整方法。

IPC (2件)：

G11B 21/02 601 , G11B 7/08

FI (2件)：

G11B 21/02 601 D , G11B 7/08 A

Fターム (8件)：

5D068AA02 , 5D068BB01 , 5D068EE05 , 5D117AA02 , 5D117CC07 , 5D117HH09 , 5D117KK08 , 5D117KK20

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