特許
J-GLOBAL ID：200903019647315842
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-199937
公開番号（公開出願番号）：特開平11-045928
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置のフットプリントを小さくし、薬液処理への熱的影響を防止する。【解決手段】 基板に対して熱処理および薬液処理を含む一連の処理を行う基板処理装置であって、薬液処理部SC、SDが配設される薬液処理ユニット部4と、熱処理部TPが配設される熱処理ユニット部5とを遮断部材6を介在させて上下に積層し、かつ、薬液処理ユニット部4に設けられ、薬液処理ユニット部4内の基板の搬送と薬液処理部SC、SDに対する基板の搬入搬出とを行う第1の基板搬送装置7と、熱処理ユニット部5に設けられ、熱処理ユニット部5内の基板の搬送と熱処理部TPに対する基板の搬入搬出とを行う第2の基板搬送装置8と、第1、第2の基板搬送装置7、8間の基板の受け渡しを行うための基板受け渡し部3とを備えた。
請求項（抜粋）：
基板に対して熱処理および薬液処理を含む一連の処理を行う基板処理装置であって、薬液処理を行う1台以上の薬液処理部が配設される薬液処理ユニット部と、熱処理を行う1台以上の熱処理部が配設される熱処理ユニット部とを遮断部材を介在させて上下に積層し、かつ、前記薬液処理ユニット部に設けられ、前記薬液処理ユニット部内の基板の搬送と前記薬液処理部に対する基板の搬入搬出とを行う第1の基板搬送手段と、前記熱処理ユニット部に設けられ、前記熱処理ユニット部内の基板の搬送と前記熱処理部に対する基板の搬入搬出とを行う第2の基板搬送手段と、前記第1の基板搬送手段と前記第2の基板搬送手段との間の基板の受け渡しを行うための基板受け渡し部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/30 569 D
