特許
J-GLOBAL ID：200903019663278850
微小物体観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-183674
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050100
出願日： 1994年08月04日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：
【要約】【目的】 照明光学系と観察光学系の小型化をともに実現でき、振動や衝撃にも強く、しかも装置自体を低価格で作製できるようにする。【構成】 外光照射に基づく被検物4からの散乱光を受光する観察光学素子と、照明光Lを導波させるための光導波層が形成され、かつ表面が被検物4の試料台を兼用する光導波路3とを具備して構成する。そして、観察光学素子としてCCD撮像素子1を用い、外光として暗視野照明手段からのエバネッセント波Leを用い、照明光Lとして、レーザ光源6から出射され、更に光学系5にて光導波路3の光導波層に集光されたレーザ光Lを用いる。
請求項（抜粋）：
外光照射に基づく被検物からの散乱光を受光する観察光学素子と、照明光を導波させるための光導波層が形成され、かつ表面が上記被検物の試料台を兼用する光導波路とを具備した微小物体観察装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84
, G01N 15/14
, G01N 21/27
