特許
J-GLOBAL ID：200903019664652500
対象面の位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-252560
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102011
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】TTL型で、走査しても光束が瞳上で移動しない光てこ式の対象面の位置検出装置を提供すること。【構成】対象面8aに臨ませた対物レンズ10aを介して対象面8aの検査または測定する主光学系10と、点状又は線状の光源12からの光束を走査鏡21を介して走査すると共に、この走査された光束を対物レンズ10aを介して対象面8aに走査投影し、且つ、前記走査により対象面8a上に結像される2次光源像を対物レンズ10aを介して受光センサー15に案内するサブ光学系11とを備える対象面の位置検出装置において、走査鏡21の光束走査位置と対物レンズ10aの瞳位置23とを共役にするための光学系22を走査鏡21と瞳位置23との間に設けた対象面の位置検出装置。
請求項（抜粋）：
対象面に臨ませた対物レンズを介して前記対象面の検査または測定を行うための主光学系と、光源からの点状又は線状の光束を走査手段を介して走査すると共に、この走査された光束を前記対物レンズを介して前記対象面に走査投影し、且つ、前記走査により前記対象面上に結像される二次光源像を前記対物レンズを介して受光センサーに案内するサブ光学系とを備える対象面の位置検出装置において、前記走査手段の光束走査位置と前記対物レンズの瞳位置とを共役にするための光学系を前記走査手段と前記瞳位置との間に設けたことを特徴とする対象面の位置検出装置。
引用特許：
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