共焦点光学系のピンホール位置制御方法及びその制御装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261977
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109958
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】共焦点光学系の光源側と検出器側の各ピンホールの位置を自動的に調整する方法及び装置を提供する。【構成】検出器側ピンホール7と検出器8との間に第2の光源9を設置し、ピンホール2、7を通過した光をそれぞれピンホールの位置に対応したスポット光として、共焦点光学系の光路上から交互に集光して取出し、位置検出装置10によりこのスポット光の位置ずれを検出して、両ピンホール2、7の位置ずれを検出する。また、このピンホール位置制御方法を自動的に実現するため、検出器側ピンホール7を介して検出器8に試料6からの反射光を結像させるレンズ3cを光軸に対して垂直方向に移動させる駆動手段12を設け、制御手段11により、位置検出装置10から出力される前記光源側及び検出器側ピンホール2、7に対応したスポット光の位置情報に基づいて、自動的にこの駆動手段12に対して移動指示を行うように構成している。

請求項（抜粋）：

第1の光源から試料に対して照射する光を絞り込む光源側ピンホールと、検出器で検出する該試料からの反射光又は蛍光を絞り込む検出器側ピンホールとを、共役の位置に設置してなる共焦点光学系において、前記検出器側ピンホールと検出器との間に、該検出器側ピンホールの位置を示す第2の光源を設置し、前記光源側及び検出器側それぞれのピンホールを通過した光を、該光源側及び検出器側ピンホールの位置に対応しているスポット光として、当該共焦点光学系の光路上から交互に集光して取出し、このスポット光の位置ずれを検出することで、該光源側及び検出器側ピンホールの位置ずれを検出することを特徴としている共焦点光学系のピンホールの位置制御方法。

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