特許

J-GLOBAL ID：200903019674658077

反射防止膜およびその製造方法

発明者： 杉本 敏明 ,  山口 慶和 ,  木田 健児
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188431
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081977
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【構成】ガラス基材の両面や片面に、基材側から第1層目として屈折率が1.65〜1.9で光学膜厚が0.15〜0.6λ(λは中心となる波長である)の薄膜、第2層目として屈折率が1.9〜2.3で光学膜厚が0.15〜0.6λの薄膜、最外表層である第3層目として屈折率が1.4〜1.65で光学膜厚が0.2〜0.8λの薄膜を順次積層し3層の光学多層膜で成り、しかも第1層目乃至第3層目の各層膜中に少なくともSiO2 を含有し、最外表層である第3層目がSiO2 、SnO2 及びZrO2 の3成分系でなる反射防止膜。更に第3層目の薄膜が、mol%表示で、SiO2 :SnO2 :ZrO2 =60〜80:10〜1:30〜19でなる反射防止膜。【効果】膜構成が単純で、かつ膜形成用原料薬液のポットライフ(使用可能期間)が充分あるため、生産性、コスト性に優れ、耐摩耗性、耐擦傷性及び耐アルカリ性等耐久性が格段に優れ、今まで使用できなかった広い分野で使用できる。

請求項（抜粋）：

ガラス基材の両面もしくは片面に、基材側から空気側に向って第1層目として屈折率が1.65〜1.9で光学膜厚が0.15〜0.6λ(λは中心となる波長である)の薄膜、第2層目として屈折率が1.9〜2.3で光学膜厚が0.15〜0.6λの薄膜、最外表層である第3層目として屈折率が1.4〜1.65で光学膜厚が0.2〜0.8λの薄膜を順次積層し3層の光学多層膜で成り、しかも前記第1層目乃至第3層目の各層膜中に少なくともSiO2 を含有せしめるとともに、最外表層である第3層目がSiO2 、SnO2 およびZrO2 の3成分系でなることを特徴とする反射防止膜。

IPC (7件)：

C03C 17/34 ,  B32B 17/06 ,  B60J 1/00 ,  C03C 17/25 ,  C23C 18/12 ,  G02B 1/10 ,  G02B 1/11

FI (2件)：

G02B 1/10 A ,  G02B 1/10