特許

J-GLOBAL ID：200903019678515980

ウエハ処理装置

発明者： 管 祥次 ,  山本 英樹
出願人/特許権者： 日立テクノエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-288862
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135301
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】大型化に伴い重量増加したウエハを搬送するため、搬送装置自体も大型化し、搬送中の位置ずれや破損を防ぐために従来よりも搬送に時間がかかり、ウエハ処理装置での処理準備工程における搬送時間の短縮が困難である。【解決手段】ウエハ2を収納したカセットを載置するカセット載置部3とウエハ2を搬出入する大気ロボット16とからなるカセット載置室4と、大気圧開放及び真空封止が切り替え可能な真空排気手段を有するロ-ドロック室6と、真空雰囲気中でウエハ2の処理を行うチャンバ19内にウエハ2を搬出入する真空ロボット17とを有する真空封止部とを備え、ロ-ドロック室6内にカセット載置室4から大気ロボット16が搬送したウエハ2の中心位置を認識しウエハ2の位置を修正する位置合わせ部21を設けた。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納したカセットを載せるカセット載置部と該カセット載置部のカセットからウエハを搬出入する大気搬送装置とからなる大気圧開放部と、大気圧開放部と接しており大気圧開放及び真空封止が切り替え可能な真空排気手段を有する中継部と、中継部により大気圧開放部とは遮断しており、真空雰囲気中でウエハの処理を行う処理室にウエハを搬出入する真空搬送装置を有する真空封止部とを備えたウエハ処理装置において、該中継部内に大気圧開放部から大気搬送装置が搬送したウエハの中心位置を認識しウエハの位置を修正する位置修正手段を設けたことを特徴とするウエハ処理装置。