特許
J-GLOBAL ID：200903019679784070
薄膜のエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284166
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132262
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】加工し難い薄膜のドライエッチングにおいて、加工速度,選択性をあげること。【構成】加工工程を、変質処理,エッチングの二つの工程に分けて行う。【効果】加工し難い薄膜を加工速度,選択性をあげてエッチングできる。
請求項（抜粋）：
薄膜を変質させる工程,変質した薄膜をエッチングする工程とを含むことを特徴とする薄膜のエッチング方法。
IPC (2件)：
H01L 21/302
, H01L 21/306
