特許

J-GLOBAL ID：200903019681078752

走査型プローブ顕微鏡およびその表面形状データー の補正方法

発明者： 石井 信人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-202568
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049850
出願日： 1995年08月08日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 探針の先端形状のデーターを使って、走査型プローブ顕微鏡で得られた試料表面のデーターを補正する。【解決手段】 本走査型プローブ顕微鏡は、第1の走査部材2で走査できる方向とその方向に対し垂直な方向で規定される平面において、探針1aの断面を2次元的に数値で記憶する探針形状記憶手段7と、探針1aを前記試料表面で走査したときに得られた各位置における試料表面の凹凸データー6と、走査した方向におけるすべての探針形状データーとの差を算出し最小値を記憶し、かつその最小値における試料表面の位置を算出する演算手段5と、算出された試料表面の位置と最小値とをそれぞれ対応させて記憶し、表示する表示手段8、9とを備える。

請求項（抜粋）：

探針を走査することで得られた試料表面の形状データーと前記探針の先端の形状データーとの差を算出し、その算出した最小値を正規の試料表面の形状データーとし、前記正規の試料表面の形状データーを試料表面上の複数の位置で得て試料表面の凹凸形状を出力することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の表面形状データーの補正方法。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 A ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28 Z