特許

J-GLOBAL ID：200903019681672930

物体表面近傍の検査装置

発明者： 木村 茂治
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-108130
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318500
出願日： 1994年05月23日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【構成】偏光した光を半導体基板60上に細く集光して走査する。基板60からの反射光に偏光方向の変化がないとき、反射光が遮断されるように検光子41を設置しておき、検光子41の信号から結晶欠陥と表面上の異物を検出する。同時に、ブリウスタ角に対応する方向で散乱光のp偏光とs偏光を検出し、両偏光の比から表面上の異物か結晶欠陥かを区別する。【効果】半導体基板の表面近傍に存在する結晶欠陥を、基板表面に付着した異物と区別することができるので、半導体素子の歩どまりと結晶欠陥密度との相関関係、および歩どまりと異物との相関関係を個々に評価できるようになる。

請求項（抜粋）：

光源と、上記光源からの直線偏光状態の光を集光する光学系と、焦点位置に配置した被検査物体と、上記被検査物体あるいは集光された光の焦点を走査する走査機構と、上記被検査物体からの反射光を照射光の光路から分ける光学素子と、反射光の偏光状態に変化がないとき反射光を遮断する偏光軸を有する検光子と、上記検光子からの透過光を検出する光検出器と、照射光の位置からの散乱光を上記被検査物体の屈折率と空気の屈折率で決まるブリウスタ角の空気中での方向で偏光方向に対して45度方向に偏光方向が入射面に対して垂直および平行方向で検出する二個の光検出器と、上記各光検出器の信号を処理する電子回路を含むことを特徴とする物体表面近傍の検査装置。