特許
J-GLOBAL ID：200903019687373098
ウエハ治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-063091
公開番号（公開出願番号）：特開平5-262381
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【構成】ウエハを収納するウエハ治具において、ウエハの周辺を複数箇所で支持し、ウエハと小面積で接触するウエハ接触部を設ける。【効果】ウエハとウエハ治具との接触面積を減少させたことにより、ウエハの出し入れの際のウエハ治具とのこすれが減少し、異物の発生及び付着が低減される。これにより、ディープサブミクロンLSIの製造において品質上重要なファクターとなる異物の付着を低減することができる。
請求項（抜粋）：
ウエハを収納するウエハ治具において、ウエハと小面積で接触するウエハ接触部を複数設け、該ウエハ接触部がウエハの周辺と複数箇所で接触することにより、ウエハを支持することを特徴とするウエハ治具。
IPC (3件)：
B65D 85/00
, B65D 85/38
, H01L 21/68
