特許
J-GLOBAL ID：200903019687792708
検査装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-347362
公開番号（公開出願番号）：特開平11-166901
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 基板表面の状態が変化しても、レジストの有無等の欠陥を確実に検査すること。【解決手段】 照明系駆動装置3及び検出系駆動装置5を動作させて、検査対象基板Wへの照明光の入射角θiと基板Wからの反射光の回折角θdとを調節する。次に、モータ70を駆動してNDフィルタ24を回転させ、検査対象基板Wに入射する照明光の強度を参照基板Wについて記憶した参照強度に設定する。次に、CCDカメラ43で撮影した検査対象基板Wの画像を制御装置6内に取り込んで内部に設けた記憶装置に保存する。次に、制御装置6内で、撮影した検査対象基板Wの画像と標準基板Wの画像とを比較して欠陥部分を検出する。なお、検査対象基板Wに入射する照明光の強度は参照強度のまま常に一定に保たれる。また、CCDカメラ43の感度は一定値に固定されている。
請求項（抜粋）：
検査対象基板の表面に照明光を照射する照明装置と、ゲインを固定するゲイン固定回路を有し、前記照明装置からの照明光を前記検査対象基板の表面に照射することによって生じた反射光をゲインを固定した状態で検出する検出装置と、前記照明装置からの照明光の強度を検出する照明光検出装置と、前記照明光検出装置で検出した照明光の強度に応じて前記照明装置を制御して、前記検査対象基板に照射される照明光の強度を所望の値に調節する強度調節装置とを備える検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G01B 11/30 C
