顕微鏡検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248205
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096863
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、装置のコンパクト化を実現できる顕微鏡検査装置を提供する。【解決手段】ステージ本体43に開口部431を形成していて、ボールネジ14の回転とともに上下方向に駆動されるアーム回転部12により搬送アーム13のウェハ保持部17に保持されたウェハ5を前記開口部431を通過させてステージ14上に供給する。

請求項（抜粋）：

試料または試料プレートの状態を顕微鏡観察により検査する顕微鏡検査装置において、前記試料または試料プレートより大きな開口部を有するステージと、このステージの開口部を通過してステージ上に前記試料または試料プレートを搬送する試料搬送手段と、前記ステージの開口部周縁部に設けられ前記ステージ上に搬送された試料を保持する保持手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡検査装置。

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