全反射減衰を利用した測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-079954
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365212
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】全反射減衰を利用した測定装置において、測定精度を向上させる。【解決手段】誘電体ブロック10と、その一面に形成されて試料に接触させられる薄膜層12と、光ビーム13を発生させる光源14と、光ビーム13を誘電体ブロック10に対して、それと薄膜層12との界面10bで全反射するように種々の角度で入射させる光学系15と、界面10bで全反射した光ビーム13を検出する二分割フォトダイオード等の光検出手段17とを備えてなる全反射減衰を利用した測定装置において、モータ85等からなる移動手段によって光検出手段17をその複数の受光素子17a、17bの並設方向に移動可能とし、1つの試料11について複数回測定を行なう際に移動手段の駆動をモータコントローラ87により制御して、1回目の検出時に光検出手段17を暗線Dに対して所定関係となる位置に配置し、2回目以降の検出時には該光検出手段17を記憶手段88が記憶した1回目の検出時の位置と同じ位置に設定する。

請求項（抜粋）：

誘電体ブロックと、この誘電体ブロックの一面に形成されて、試料に接触させられる薄膜層と、光ビームを発生させる光源と、前記光ビームを前記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、複数の受光素子が所定方向に並設されてなり、前記界面において互いに異なる反射角で全反射した光ビームの成分をそれぞれ異なる受光素子が受光する向きに配設されて、全反射した光ビームにおける暗線から全反射減衰の状態を検出する光検出手段とを備えてなる全反射減衰を利用した測定装置において、前記光検出手段を、その複数の受光素子の並設方向に移動させる移動手段と、この移動手段による前記光検出手段の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段が検出した光検出手段の位置を記憶する記憶手段と、1つの試料について前記全反射減衰の状態を複数回検出する際に前記移動手段の駆動を制御して、1回目の検出時に前記光検出手段を前記暗線に対して所定関係となる位置に配置するとともに、2回目以降の検出時には該光検出手段を、前記記憶手段が記憶した1回目の検出時の位置と同じ位置に設定させる制御手段とを備えたことを特徴とする全反射減衰を利用した測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/27 , G01N 21/03 , G01N 21/13

FI (3件)：

G01N 21/27 C , G01N 21/03 Z , G01N 21/13

Fターム (26件)：

2G057AA02 , 2G057AB04 , 2G057AB07 , 2G057AC01 , 2G057BA01 , 2G057BB01 , 2G057BB06 , 2G057BC07 , 2G057HA04 , 2G059AA01 , 2G059AA05 , 2G059BB12 , 2G059CC16 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059GG01 , 2G059GG04 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059KK04 , 2G059MM09 , 2G059MM10 , 2G059PP04

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