特許
J-GLOBAL ID：200903019697081575
ダイヤモンド類被覆部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-191142
公開番号（公開出願番号）：特開平5-247652
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、基材とこれを被覆するダイヤモンド類膜との密着性に優れる上に耐摩耗性も向上し、耐久性に秀で、使用寿命が著しく改善されたダイヤモンド類被覆部材の製造方法を提供することにある。【構成】 本発明は、基材表面に、要すればエッチング処理の後、周期律表第IVA族、 第VA族および第VIA族に属する金属ならびにSiから選択される少なくとも一種の金属またはその炭化物、窒化物もしくは炭窒化物を蒸着した後に、700〜1,500°Cに加熱処理することにより、基材表面に中間層を設け、次いで該中間層の表面に気相法によりダイヤモンド薄層を形成することを特徴とするダイヤモンド被覆部材の製造方法である。
請求項（抜粋）：
周期律表第IVA族、 第VA族および第VIA族に属する金属並びにSiから選択される少なくとも一種の金属、周期律表第IVA族、 第VA族および第VIA族に属する金属並びにSiの炭化物、窒化物および炭窒化物から選択される少なくとも一種の金属化合物からなる群から選択される少なくとも一種からなる被覆層を基材表面に形成する工程と、被覆層を有する基材を、700〜1,500°Cで加熱処理する工程と、加熱処理後に前記被覆層上に気相法によりダイヤモンド薄膜を形成する工程とを有することを特徴とするダイヤモンド被覆部材の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 16/26
, B23P 15/28
, C23C 16/02
, C30B 29/04
