特許

J-GLOBAL ID：200903019698388089

投影露光装置

発明者： 西 健爾 ,  千葉 洋 ,  村上 成郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-198181
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026554
出願日： 1995年07月11日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【目的】 照明条件に左右されることなく、感光基板側のテレセントリック性を確保する。【構成】 照明系開口絞り板19の駆動に連動してその照明条件に対応する補正光学部材(テレセン補正機構100を構成する特殊な平行平板)をレチクルRとコンデンサレンズ39との間のレチクルR上の照野範囲41に対応する領域に切り替え設定する切り替え設定手段(19,101)が設けられている。このため、照明系開口絞り板19の駆動により照明条件が変更された場合、例えば、通常照明から変形照明に変更された場合、各照明条件毎の補正光学部材によりその変更後の照明条件下でのウエハW側の部分的なテレセントリック性の誤差がそれぞれ補正される。

請求項（抜粋）：

照明光によりマスクを照明し、前記マスク上のパターンを投影光学系を介して感光基板上に転写する投影露光装置であって、前記マスクと前記マスク上に前記照明光を集光するコンデンサレンズとの間に、前記感光基板側の部分的なテレセントリック性の誤差を補正する補正光学部材が配置されたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-367213