LCD検査プローブの位置合せ方式及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-081515
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297240
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】プローブ治具とLCD基板の位置合わせを高精度で得ることができ、しかも温度ドリフトや外乱に影響を受けにくいものとする。【構成】LCD基板100に対してプローブ治具400を近付けて、LCD基板の端子群とプローブ治具のプローブ群とを電気的に接続して前記LCD基板の検査を行う場合、プローブ治具に設けられたマークと、LCD基板のマークとを重ねるように光学的にビデオカメラ501、503により読み取り、両マークが所定の位置関係となるようにパターン比較及び制御装置503、調整テーブル300等により位置制御する。

請求項（抜粋）：

LCD基板に対してプローブ治具を近付けて、LCD基板の端子群とプローブ治具のプローブ群とを電気的に接続して前記LCD基板の検査を行うために、前記LCD基板とプローブ治具との位置合わせを行う方式として、プローブ治具に設けられたマークと、LCD基板のマークとを重ねるように光学的に撮影手段により読み取り、両マークが所定の位置関係となるように前記LCD基板を搭載している調整テーブルを位置制御するようにしたことを特徴とするLCD検査プローブの位置合わせ方式。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G01R 31/00 , G01R 31/28 , G02F 1/13 101

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平4-364054
特開平4-364054
特開平4-364054

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