特許
J-GLOBAL ID:200903019710101939
プレーナ形光導波路
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-277855
公開番号(公開出願番号):特開平11-174246
出願日: 1998年09月30日
公開日(公表日): 1999年07月02日
要約:
【要約】【課題】 基板とその上にコーティングされる層との熱膨張係数の間の差による応力を減少させることにより低複屈折のプレーナ形光導波路及びこれを製造する方法を提供することを目的とする。【解決手段】 プレーナ形光導波路は基板上の少なくとも2つのクラッド層と、クラッド層の間に配置される少なくとも1つのコア層とからなる。装置の偏光感度を減少させるため、2つの層のうちオーバークラッド層は基板の熱膨張係数に近い又は等しい熱膨張係数を生ずるようドーピングされる。
請求項(抜粋):
基板(1)上の少なくとも2つのクラッド層(2,4)と、該クラッド層の間に配置される少なくとも1つのコア層(3)とからなり、該コア層(3)は該クラッド層の屈折率よりも高い屈折率を有する、プレーナ形光導波路であって、該オーバークラッド層(4)は上記基板(1)の熱膨張係数に近い又は等しい熱膨張係数を有することを特徴とするプレーナ形光導波路。
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