特許

J-GLOBAL ID：200903019711998380

超微粒子分級装置

発明者： 牧 野 俊 晴 ,  鈴 木 信 靖 ,  吉 田 岳 人 ,  山 田 由 佳 ,  橋 本 雅 彦 ,  瀬 戸 章 文 ,  綾 信 博
出願人/特許権者： 松下技研株式会社 ,  工業技術院長
代理人 (2件)： 蔵合 正博 ,  蔵合 正博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087864
公開番号（公開出願番号）：特開2000-279893
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】 大気圧以下の圧力領域で動作し、1ナノメートルから20ナノメートルの超微粒子を均一な粒径に分級できる超微粒子分級装置を提供すること。【解決手段】 微分型電気移動度分級系を低圧動作させるためには、微分型電気移動度分級系内のシースガスを効率良く、高排気速度で排気する必要がある。従って、微分型電気移動度分級系を小型化し、微分型電気移動度分級系内のシースガス容量を小さくした。また、粒径が100nm以下の超微粒子では、低圧下での輸送機構としてブラウン拡散が無視できないことから、微分型電気移動度分級系を小型化することで、微分型電気移動度分級系内での分級に要する超微粒子の移動距離を短くし、ブラウン拡散による分級分解能の低下を防止した。

請求項（抜粋）：

シースガスを導入するためのシースガス導入部と、荷電された超微粒子を搬送し導入するためのキャリアガス導入部と、導入された超微粒子をキャリアガス噴出口より噴出し、静電界中での荷電粒子の粒径に依存した電気移動度を利用して、キャリアガス噴出口下流に設置したスリットにより分級するための分級部と、分級された超微粒子を取り出すためのキャリアガス排気部と、分級部下流のシースガス排気部と、シースガス排気部下流のシースガス排気ラインとから構成され、キャリアガス導入部および分級部が大気圧以下で動作することを特徴とする超微粒子分級装置。

IPC (2件)：

B07B 13/00 ,  B03C 3/00

FI (2件)：

B07B 13/00 ,  B03C 3/00 Z

Fターム (22件)：

4D021FA11 ,  4D021GA06 ,  4D021GA10 ,  4D021GA13 ,  4D021GA16 ,  4D021GA17 ,  4D021GA27 ,  4D021JA20 ,  4D021JB02 ,  4D021KA01 ,  4D021LA07 ,  4D021LA20 ,  4D021MA01 ,  4D021MA05 ,  4D021NA10 ,  4D054AA20 ,  4D054BA04 ,  4D054BA15 ,  4D054CA10 ,  4D054CA20 ,  4D054EA14 ,  4D054EA16