特許
J-GLOBAL ID:200903019712549406

表面欠陥検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-151881
公開番号(公開出願番号):特開平6-082390
出願日: 1993年06月23日
公開日(公表日): 1994年03月22日
要約:
【要約】【目的】 撮像装置によって撮像した表面欠陥を処理して、微妙な色むら状の表面欠陥などを正確に検出できるようにする。【構成】 2色以上の色成分を撮像できる撮像装置を用いて、撮影された各色成分から、輝度の平均値より計算されたオフセット値を引き、各色成分を足し合わせ、特定の値で二値化処理することにより、微小な欠陥成分を強調する撮像画面を作成する。
請求項(抜粋):
表面を撮像して得た画像データから、被検査物体の表面欠陥を検出する表面欠陥検査方法において、2色以上の色成分を撮像できる撮像装置を用いて、撮影された各色成分から、特定のオフセット値を引き、各色成分を足し合わせることにより、微小な欠陥信号を強調する撮像画面を作成することを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/89 ,  G01B 11/30

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