歪みゲージとその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231118
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086619
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】薄膜化及び小型化を可能とし、被測定体の表裏若しくは平面ではない形状の被測定体にも接着可能な歪みゲージとその製造方法を提供する。【構成】本発明の歪みゲージは、可撓性のある絶縁膜1と、この絶縁膜1を電気化学エッチングの際に保護する保護膜2と、半導体単結晶からなる半導体抵抗体3と、上記半導体抵抗体3に電気化学エッチングの際に電圧を印加すると共に、該半導体抵抗体3より出力信号を取り出す電極4とからなる。

請求項（抜粋）：

可撓性のある絶縁膜と、上記絶縁膜を電気化学エッチングの際に保護する保護膜と、半導体単結晶からなる半導体抵抗体と、上記半導体抵抗体に電気化学エッチングの際に電圧を印加すると共に該半導体抵抗体より出力信号を取り出す電極とを具備することを特徴とする歪みゲージ。

IPC (3件)：

H01L 29/84 , G01B 7/16 , H01L 21/3063

FI (2件)：

G01B 7/18 H , H01L 21/306 L

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