特許

J-GLOBAL ID：200903019713567335

荷電粒子ビーム出射装置

発明者： 秋山 浩 ,  平本 和夫 ,  松田 浩二 ,  乗峯 哲朗
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-241354
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142596
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】走査電磁石の磁極の間隔を狭くして、走査電磁石における消費電力を軽減することができる荷電粒子ビーム出射装置を提供することにある。【解決手段】荷電粒子ビーム走査用の走査電磁石100,110を有し、加速器から出射された荷電粒子ビームを出力する照射装置を備えた荷電粒子ビーム出射装置において、走査電磁石100と走査電磁石110の間に四極電磁石4,5を設ける。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビーム走査用の走査電磁石を複数有し、加速器から出射された荷電粒子ビームを出力する照射装置を備えた荷電粒子ビーム出射装置において、前記複数の走査電磁石のうちの2つの走査電磁石の間に四極電磁石を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム出射装置。

IPC (4件)：

G21K 1/087 ,  A61N 5/10 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/147

FI (4件)：

G21K 1/087 S ,  A61N 5/10 D ,  G21K 5/04 A ,  H01J 37/147 Z