電子線装置及びこの装置を用いたデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-381119
公開番号（公開出願番号）：特開2003-187733
出願日： 2001年12月14日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】軸上色収差を向上させる上で事実上の限界が無く、磁極をアースから絶縁する複雑な構成により、種々の目的に対応可能とする。【解決手段】電子線装置は、電子銃1a、コンデンサレンズ6、静電偏向器6、静電偏向器10及び電磁偏向器11、12を有するE×B分離器29、並びに、対物レンズ30を含む。対物レンズ30は、上側磁極13、下側磁極20、及び、両磁極間に配置された励磁コイル15を備える。上側磁極13及び下側磁極20は、独立にアースから絶縁される。更に、試料21に負電圧を印加するための負電圧源23と、下側磁極20に印加する電圧を正の電圧から前記試料より低い負の電圧の間で予め指定された値に切り替え可能とするため、負の可変電圧電源24及び正の可変電圧電源25のいずれかに接続切り替えるスイッチ26を更に含む。

請求項（抜粋）：

電子線を試料上に結像させるための対物レンズを含む電子線装置であって、前記対物レンズは、上側磁極、下側磁極、及び、両磁極間に配置された励磁コイルを少なくとも備え、前記試料に、負の電圧を印加し、更に、前記下側磁極に該試料より低い電位の電圧を印加することを特徴とする、電子線装置。

IPC (5件)：

H01J 37/145 , H01J 37/141 , H01J 37/28 , H01L 21/66 , G01B 15/00

FI (5件)：

H01J 37/145 , H01J 37/141 A , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , G01B 15/00 B

Fターム (15件)：

2F067AA21 , 2F067BB04 , 2F067CC15 , 2F067HH06 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067LL00 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 5C033DD02 , 5C033DD09 , 5C033UU02 , 5C033UU03

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