特許

J-GLOBAL ID：200903019719300799

真空モータ及び搬送装置

発明者： 成島 正樹 ,  近藤 圭祐
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285367
公開番号（公開出願番号）：特開2001-112223
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 ステータとロータとの間の磁気的動力の伝達効率を改善し,駆動力の向上及び省電力化を図ることの可能な真空モータ及びこれを用いた搬送装置を提供する。【解決手段】 真空モータ100は,真空雰囲気空間と大気雰囲気空間とを隔絶する非磁性体のカンシール110と,大気雰囲気側に設けられ,コイル120が巻装された第1のステータ130と,真空雰囲気側に第1のステータに対応して設けられた第2のステータ135と,真空雰囲気側に第2のステータに対応して設けられ,第2のステータより磁気的動力が伝達されて外側回転軸150及び内側回転軸160を駆動するロータ140とを備えている。磁気的動力が伝達される第2のステータとロータとの間隔を可能な限り小さくすることができ,ステータとロータとの間の磁気的動力の伝達効率を改善することができる。

請求項（抜粋）：

真空モータにおいて:雰囲気の異なる空間を隔絶する非磁性体の隔壁と;高圧雰囲気側に設けられ,コイルが巻装された一または二以上の第1のステータと;低圧雰囲気側に前記第1のステータに対応して設けられた一または二以上の第2のステータと;低圧雰囲気側に前記第2のステータに対応して設けられ,前記第2のステータより磁気的動力が伝達されて一または二以上の回転軸を駆動する一または二以上のロータと;を備えたことを特徴とする,真空モータ。

IPC (6件)：

H02K 16/00 ,  B25J 9/06 ,  B25J 17/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68 ,  H02K 5/12

FI (6件)：

H02K 16/00 ,  B25J 9/06 E ,  B25J 17/00 B ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/68 A ,  H02K 5/12

Fターム (24件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060EA01 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060GA00 ,  3F060GA05 ,  3F060GA13 ,  3F060GB31 ,  3F060GD07 ,  3F060GD11 ,  3F060HA28 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031LA07 ,  5H605BB00 ,  5H605BB05 ,  5H605CC01 ,  5H605CC02 ,  5H605CC03 ,  5H605CC10 ,  5H605DD01 ,  5H605DD37