特許
J-GLOBAL ID：200903019727194302
位置決め用補正データ導出方法、位置決め装置、実装装置及び記憶媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324258
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142513
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】機械要素部品が持つ位置決め精度を悪化させる要因の影響を無くすための補正ベクトルデータを導き、この補正ベクトルデータを用いてツールを高精度に位置決めして実装すること。【解決手段】補正ベクトルデータ導出手段12aにより撮像装置8の撮像により得られる画像データ上の認識マーク10のうち任意の認識マーク10、例えば基準格子点11を移動開始点としてXYステージ1の移動を開始させ、目標位置に到達したときの実際の到達位置と目標位置との差異に基づいて補正ベクトルデータRxij、Ryijを求め、補正手段12cによってXYステージ1を目標位置に移動させる指令値に対し、この目標位置に対応する補正ベクトルデータをメモリ部14から読み出し、この補正ベクトルデータを上記指令値に加えて駆動部13に与える。
請求項（抜粋）：
互いに直交する2方向に移動自在で撮像装置を備えた移動機構を駆動したときの目標位置に対する位置決め補正を行うための位置決め用補正データ導出方法において、前記撮像装置により撮像される所定間隔で認識マークが付された基板の画像データ上の前記認識マークのうち任意の認識マークを移動開始点として設定する工程と、この認識マークと異なる前記認識マークを目標位置として前記移動機構を移動する工程と、前記移動機構が前記目標位置に到達したときの実際の到達位置と前記目標位置との差異に基づいて補正ベクトルデータを設定する工程と、を有することを特徴とする位置決め用補正データ導出方法。
Fターム (16件)：
5H269AB17
, 5H269BB03
, 5H269CC02
, 5H269DD01
, 5H269EE05
, 5H269EE11
, 5H269FF06
, 5H269JJ09
, 5H269JJ20
, 5H269QB15
, 9A001BB03
, 9A001GZ16
, 9A001HH21
, 9A001HH34
, 9A001JJ71
, 9A001KK54
