特許
J-GLOBAL ID：200903019729911958
欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-239201
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063699
出願日： 1993年08月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 欠陥形状を正確に判定し、さらに誤判定の原因を解析して検査精度を向上させることが可能な欠陥検査装置を提供する。【構成】 フレームメモリ6へは、A/D変換器5にてA/D変換された生信号及びフィルタ信号と、欠陥検出回路4から出力された欠陥検出信号とが与えられるようになっている。フレームメモリ6は所定走査回数分の電気信号を記憶し、1とおり記憶すれば順次書き換えを行う。そして欠陥検出信号を受けると、この時点の前後所定時間分の信号を記憶装置7及び表示装置8へ出力し、記憶装置7ではこの信号を記憶し、表示装置8ではこの信号及び記憶装置7が記憶している信号による画像を表示することができるようになっている。
請求項（抜粋）：
被検査材をセンサにて探傷し、該センサから得られる電気信号を処理し、欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記電気信号が閾値を越えた場合に欠陥検出信号を出力する欠陥検出手段と、前記センサから得られる一定期間の電気信号を書き換えを行いながら随時記憶し、前記欠陥検出信号が与えられた場合にその前後所定期間分の電気信号を読み出すフレームメモリと、該フレームメモリから読み出した前記電気信号を記憶する記憶手段と、該記憶手段から読み出した電気信号又は前記フレームメモリから読み出した電気信号により画像を表示する手段とを備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, B21C 51/00
, G01N 21/88
, G01N 27/82
