特許

J-GLOBAL ID：200903019730348833

圧電型加速度センサ

発明者： 布田 良明
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-184913
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050141
出願日： 1994年08月05日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 接着による感度への影響が非常に少なく、しかも一層低周波数での加速度検出が可能である共に、小型で表面実装が容易な構造の圧電型加速度センサを提供すること。【構成】 圧電セラミック矩形板11では、一方向において対向する両側面よりそれぞれの端部が1つおきに露出するように互い違いに複数の内部電極12が埋設されると共に、他方向において対向する両側面より露出するように空洞部13が設けられている。ここで、各内部電極12は一方向とは垂直な方向の一端側に設けられ、空洞部13は各内部電極12がそれぞれ互いに対向する部分に沿うように設けられている。この圧電セラミック矩形板11の一方向において対向する両側面にはそれぞれ外部電極14が設けられた上、信号処理部(図示せず)による配線が各電極に施されて圧電型加速度センサが構成される。

請求項（抜粋）：

一方向において対向する両側面よりそれぞれの端部が1つおきに露出するように互い違いに埋設された複数の内部電極を有すると共に、他方向において対向する両側面より露出するように設けられた空洞部を有する圧電セラミック矩形板を含み、前記空洞部は、前記複数の内部電極がそれぞれ互いに対向する部分に沿うように設けられたことを特徴とする圧電型加速度センサ。