特許

J-GLOBAL ID：200903019731085461

電子線描画装置

発明者： 早田 康成 ,  奥村 正秀 ,  染田 恭宏 ,  佐藤 秀寿 ,  中山 義則 ,  斉藤 徳郎
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142860
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017698
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】簡単な構造で電子ビームを制御するブランキングアレイを提供する。【構成】平行に形成された電極により線状に電子ビームを偏向するブランキングアレイ及びブランキングアレイをレンズの物面上に搭載した電子線描画装置。【効果】制御すべき電線を大幅に低減することができる。

請求項（抜粋）：

一次元に連なる画素を一対の電極で偏向するブランキングアレイ及びそれを搭載した電子線描画装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/305

FI (2件)：

H01L 21/30 541 Q ,  H01L 21/30 541 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭52-141180
  

審査官引用 (1件)

• 特開昭52-141180