特許

J-GLOBAL ID：200903019733840321

照明光照射装置及びこれを備えた蛍光観察装置

発明者： 打田 忠 ,  大瀧 達朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-398625
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195177
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 光源としてLED等を用い、しかも、照明光の波長選択性を確保しつつ、照明光の光量を増大させて試料からの蛍光光量を増大させる。【解決手段】 5つの前段照明光学系1a〜1eに対して、共通する後段照明光学系が設けられる。光学系1a〜1eは、互いに中心波長が異なる光を発するLED2a〜2eをそれぞれ光源として有する。光学系1a〜1eは、それらの射出光軸Sa〜Seが点Pを中心にして放射状となるように配置される。点Pを含む反射面を有する反射プリズム5が、点Pの回りにモータにより回転され、後段照明光学系の入射光軸S0が、射出光軸Sa〜Seの選択されたいずれかと一致する位置に、位置決めされる。後段照明光学系は、選択された前段照明光学系からの光を反射プリズム5で図2の紙面手前方向に反射し、この光に基づく照明光を試料に照射する。

請求項（抜粋）：

異なる中心波長の光を発する複数の光源が設置可能であり、前記複数の光源から所望の光源を選択的に照明光の光路に位置決めする選択位置決め手段を有することを特徴とする照明光照射装置。

IPC (3件)：

G02B 21/06 ,  G02B 27/00 ,  H01L 33/00

FI (3件)：

G02B 21/06 ,  H01L 33/00 L ,  G02B 27/00 V

Fターム (20件)：

2H052AA09 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC18 ,  2H052AC27 ,  2H052AC33 ,  2H052AF14 ,  2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA07 ,  2H052BA09 ,  2H052BA11 ,  5F041AA14 ,  5F041DC07 ,  5F041EE11 ,  5F041EE22 ,  5F041EE23 ,  5F041EE25 ,  5F041FF11 ,  5F041FF16