表面疵検査方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：白木大太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-008664
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205847
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】正反射光を受光するイメージセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサーはそれぞれ別個・独立に設け、両者の画像を処理して表面疵の検査を行う場合に、上記2つのイメージセンサーの位置調整を運転期間中に行うことのできる方法および装置を提案する。【解決手段】被検査体の表面にレーザースポット光を照射して該被検査体上のレーザースポット光の照射位置を2つのイメージセンサーにより検知するとともに、前記2つのイメージセンサーの視野内における前記スポット光照射位置の幅方向検知位置を一致させることによってイメージセンサー間の視野のずれを解消する。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面に帯状に光を照射し、該被検査体の表面から反射する正反射光と乱反射光を2つの独立したイメージセンサーにより受光して表面疵を検出するに当たり、前記被検査体の表面の帯状光受光領域にレーザースポット光を照射し、前記被検査体上のスポット光の位置を前記2つのイメージセンサーにより検知するとともに、前記2つのイメージセンサーの視野内における前記スポット光照射位置の幅方向検知位置を一致させることによって正反射光を受光するイメージセンサーと乱反射光を受光するイメージセンサー間の視野のずれを解消することを特徴とする表面疵検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 , G01N 21/89

FI (2件)：

G01B 11/30 A , G01N 21/89 610 B

Fターム (39件)：

2F065AA19 , 2F065AA49 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065BB25 , 2F065BB27 , 2F065BB29 , 2F065CC00 , 2F065CC06 , 2F065EE00 , 2F065FF42 , 2F065FF44 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065HH16 , 2F065HH17 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065PP16 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2G051AA37 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051ED07

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-313739
特開昭63-055444
特開昭58-068604

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