特許

J-GLOBAL ID：200903019743560670

X線発生装置及び露光装置

発明者： 近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-288282
公開番号（公開出願番号）：特開2004-128105
出願日： 2002年10月01日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】ミラーの交換が簡単にできる等の利点を有するX線発生装置及びそれを備える露光装置を提供する。【解決手段】X線発生装置1は、球状の真空容器2を備えている。真空容器2上流側の開口2a内には、ミラー(第1ミラー)10が組み込まれている。このミラー10は、真空容器2上流側の壁の一部を構成している。ミラー10の反射面10aは真空容器2内に位置しており、ミラー10の裏面10bは真空容器2外の大気側に露出している。ミラー10の裏面10bには、水冷ジャケット15が取り付けられている。水冷ジャケット15は、ミラー裏面10bの大気側に設けられているため、配管15aの引き回し等が容易で構成が簡素である。また、水冷ジャケット15が大気側に露出しているため、交換やメンテナンスも容易である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

標的材料をプラズマ化し、該プラズマからX線を輻射させるX線源と、 該X線源を収容する真空容器と、 前記X線源から輻射されるX線が入射するミラーと、 を具備し、 前記ミラーあるいはミラーを保持している部材が、前記真空容器の壁の一部を構成していることを特徴とするX線発生装置。

IPC (6件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K1/00 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02 ,  H05G2/00

FI (8件)：

H01L21/30 531S ,  G03F7/20 503 ,  G21K1/00 X ,  G21K1/06 M ,  G21K1/06 P ,  G21K5/02 X ,  H01L21/30 527 ,  H05G1/00 K

Fターム (10件)：

2H097CA01 ,  2H097CA15 ,  4C092AA06 ,  4C092AB11 ,  4C092AC09 ,  4C092BD11 ,  4C092BD17 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03