特許

J-GLOBAL ID：200903019749920538

プローブ方法及びプローブ装置

発明者： 小林 将人 ,  石井 一成
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285139
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110857
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 従来はZ軸の駆動量で一定のオーバドライブ量を確保しているため、プローブカード24の使用による経時的変形や、検査時の熱的影響による膨張、収縮があってプローブの針先とウエハW間の距離にバラツキがあってもメインチャック17がオーバードライブ量が一定であるため、一定の安定した接触荷重を得ることができない。【解決手段】 本発明のプローブ方法は、コントローラ13の制御下でメインチャック17に載置したウエハWとプローブ24Aとを接触させた後、メインチャック17をオーバドライブさせてウエハWの電気的特性検査を行う際、コントローラ13の制御下で、オーバドライブ時にプローブ24AとウエハWの接触により発生する荷重をメインチャック17に設けられた圧力センサ31を介して測定し、この測定荷重に基づいてメインチャック17のオーバドライブ量を制御することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

コントローラの制御下で、X、Y、Z及びθ方向に移動可能な載置台に載置した被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、上記コントローラの制御下で、上記オーバドライブ時に上記プローブと上記被処理体の接触により発生する荷重を上記載置台に設けられた圧力センサを介して測定し、この測定荷重に基づいて上記載置台のオーバドライブ量を制御することを特徴とするプローブ方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01L 5/00 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28

FI (4件)：

H01L 21/66 B ,  G01L 5/00 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

Fターム (18件)：

2F051AA21 ,  2F051AB09 ,  2F051AC01 ,  2F051BA07 ,  2G011AA17 ,  2G011AC01 ,  2G011AC02 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G032AE06 ,  2G032AF01 ,  2G032AF04 ,  2G032AF05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10