特許
J-GLOBAL ID：200903019751954407
窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209263
公開番号（公開出願番号）：特開平6-128041
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 回路の高集積化に対応した基板用材料として高い絶縁破壊電圧を有する窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法を提供する。【構成】 窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウム結晶粒中にチタンを重量比率で50ppm以上1000ppm以下固溶している。電子スピン共鳴の吸収スペクトルから得られた焼結体中の不対電子濃度は1×1013個/g以上である。チタンとアルミニウムの酸窒化物は窒化アルミニウム焼結体中にTiO2 換算で0.1重量%以上5.0重量%以下存在する。窒化アルミニウム焼結体の絶縁破壊電圧は20kV/mmである。窒化アルミニウム原料粉末を窒素雰囲気中で800〜1400°Cの温度で窒化処理し、焼結助剤とともにチタンの酸窒化物を添加して焼結することにより、上記の窒化アルミニウム焼結体が得られる。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム結晶粒を備え、その窒化アルミニウム結晶粒にはチタンが50ppm以上1000ppm以下の重量比率で固溶している、窒化アルミニウム焼結体。
IPC (4件)：
C04B 35/58 104
, C04B 35/58
, H01L 23/15
, H05K 1/03
